
深圳新闻网2026年5月19日讯(记者 邱嘉熙)近日,位于深圳坪山的捷佳伟创(全称:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司)迎来重磅喜讯——公司首次将微纳米气泡水清洗工艺应用于半导体/先进封装清洗装备,且该装备已成功出货至海外,为全球高端器件精细化清洗交付全新解决方案,彰显中国半导体装备企业的技术硬实力。
随着先进封装技术迭代,半导体器件结构愈发精密,传统清洗工艺已难以适配高端需求。公司深耕创新,将微纳米气泡水技术与清洗装备深度融合,打造出兼具高效、环保与精准优势的产品,实现高端装备出海突破。

装备核心优势可拆解为两大维度,精准适配高端需求。高效环保清洗,以微纳米气泡水为核心介质,无需化学试剂,绿色环保;依托其表面电荷、低表面张力特性,可精准去除带电微粒、深入微细结构清洁,搭配特定气源产生的羟基自由基,能高效清除有机污染,同时避免线路图形坍塌。高精度清洗能力,可适配TSV、微细电极等精密工艺,实现AR=10:1高纵横比TSV产品清洗与刻蚀;能去除28nm级微小颗粒及金属杂质,50-100nm颗粒去除率超99%,支持双面掩膜同时清洗,提升效率与一致性。
作为坪山区优质企业代表,捷佳伟创深耕半导体及电子专用设备领域多年,凭借自主研发的一系列核心技术,实现了从PERC到N型电池、钙钛矿电池技术的全面覆盖。目前,公司产品已覆盖亚洲、非洲、欧洲、美洲等全球几十个国家和地区,为300多家企业提供设备与服务,全球主要装备市占率超过50%。
2025年,捷佳伟创凭借强劲的发展动能与卓越的综合实力,成功入选“广东省民营企业100强”“广东省制造业民营企业100强”,并跻身“中国制造业民营企业500强”,成为坪山一张亮丽的高端制造名片。
当前,坪山正锚定打造先进制造业集聚区和未来产业试验区,形成“车、药、芯、智”齐头并进的产业格局。在这片产业沃土上,有近50家企业在细分赛道市占率位居全国乃至全球前列。以捷佳伟创为代表的坪山企业,正持续向高端装备领域纵深拓展,加快全球化布局步伐。