飞跃大湾区｜把握河套机遇，他们在这追求半导体设备国产化（视频）
深圳新闻网2024年4月23日讯（记者 杨铭琪 陈湛淇 肖雨）走进位于香港科学园深圳分园的中锃半导体 （深圳）有限公司（以下简称“中锃半导体”），“创新”“目标”“合作”......墙上一幅幅励志标语格外醒目，凝练了中锃半导体的创业理念和态度。本次专访特别邀请中锃半导体创始人兼总裁谭志明，带我们深入探讨半导体发展机遇。
中锃半导体脱胎于香港华智科技，2023年分拆成为独立公司；2024年3月15日，正式入驻香港科学园深圳分园，专注于第三代半导体等离子刻蚀技术（RIE）与感应耦合等离子刻蚀技术（ICP）刻蚀机的研发与生产和提供碳化硅沟槽刻蚀（SiC Trench Etch）的工艺技术解决方案。
目前，该企业已完成数千万元的天使轮融资，由国科京东方、国核曜能、望众资本等共同投资。对于中锃半导体而言，完成数千万元的天使轮融资，是其里程碑式的发展，而落户位于河套深港科技创新合作区的香港科学园深圳分园，则是其飞跃大湾区、巩固内地市场的真正起点。
“我们的技术会更加创新和进步”
当提及“中锃”的名字由来，谭志明回忆道：“中，代表中国；锃，意为锃光明亮。我希望中锃半导体能为国家、为社会发光发亮。”
谭志明深耕半导体行业已有42年，最初从事半导体产品的加工生产，后来开始尝试自主设计产品，当他看到所设计的产品在国内获得不错的市场反响时，对于未来的发展，他的思路更加清晰，“要多元化产品布局，要创新研发产品，要突破核心技术”。
早在2014年，谭志明所在的团队已着手开展碳化硅产品的研发工作。在过去的十年里，该团队不断建立和积累涵盖“设备、制造工艺和设计研发”的综合能力和经验萃取。2017年，获得中国电子集团旗下华大半导体有限公司的投资，华智科技成功分拆其碳化硅器件业务，成立飞锃半导体上海有限公司，如今已成为最近三年内中国销量最大的碳化硅器件设计公司。飞锃半导体的成功，让谭志明更加坚定创新研发的理念。随后，他们开始启动“等离子刻蚀机”研发项目，这也是中锃半导体如今的核心产品之一。
十年磨一剑的坚守，长年累月的经验积累，让中锃半导体的研发之路事半功倍。“经过前期的设备设计，设备软件、硬件的研发，2020年，我们终于做出一个样板机。顺理成章，我们开始与基金公司交流倾谈，筹备融资计划。去年融资成功后，今年正式入驻在河套合作区的香港科学园深圳分园。”据谭志明透露，中锃半导体已获有两项专利，包括冷却系统和气体分布系统的相关专利。而在中锃半导体成立后，每年投入的设备研发资金将超过公司总支出的30％。
“高性价比和特色工艺技术是我们的优势， 我们的技术会更加创新和更加进步。”谭志明认为，“竞争是很激烈的，我们希望给客户提供最好的技术支持和服务，这是我们未来的追求，也是我们的优势。”
“我们做的国产化刻蚀设备有着成本上的优势”
半导体制造工业需要数百道工序，数十种设备来构建其生产流程。在芯片的数百层的结构中，每一层都要经历“沉积、涂胶、曝光、显影、刻蚀、离子注入、去胶”等重要步骤。作为雕刻芯片的“精准手术刀”，“刻蚀”是半导体制造流程中最关键的环节之一，而刻蚀设备，则是半导体芯片制造的核心。
在谭志明看来，国内刻蚀设备产业具有显而易见的发展潜力和优势。据他分析，国内刻蚀设备产业有着庞大的市场需求，涉及很多不同的应用场景，如近期备受关注的新能源汽车、绿色能源等发展前景广阔的赛道。
“随着新能源汽车、电力系统、AI等应用需求的高涨下，对刻蚀设备的需求将继续增加。一台新能源电动车大概需用3－5片芯片，国内去年生产的电动车可能已达几百万台。此外，碳化硅芯片还能应用在电力系统，包括太阳能发电系统、储能系统、家居供电系统，这些系统都会逐渐从传统技术转移到第三代半导体的应用。”谭志明分析，“一些汽车公司或其他大企业，他们开始愿意用国产化的IC或器件，以至我们有机会进入市场，进入市场后就有机会做到最好。”
谈及AI技术对半导体产业有何影响？谭志明分享，目前AI增长的需求亦是带动半导体产业发展的主导因素。由于AI相关的智能化以及大数据的运算需要强大的电力系统支持，例如一个大型的AI公司所需要的电力可与一个城市的电力所需相当。中锃半导体所从事的碳化硅研究领域正是对应电力系统的高效能应用，亦会带动碳化硅刻蚀设备的需求增长。
谭志明指出，国内新建的半导体工厂规模持续增长，增长速度相当于其他国家的一倍甚至几倍。与此同时，政府不断出台政策扶持高科技产业，当广阔市场叠加政策红利，国内半导体产业越发活跃。再实际一点来说，国内尤其是大湾区制造业体系成熟、综合配套能力强，如果在大湾区或者整个华南地区使用“车床”“CNC”（俗称“数控”，由计算机数字控制的自动化机床Computer numerical control）等进行零部件的加工，不仅成本低，交通还十分便利。
“现阶段，国内半导体设备国产化率占20％，而光刻刻蚀设备的国产化率仅约7％，未来仍有着非常大的提升空间。”谭志明提到，“国外刻蚀设备成本高，价格昂贵，而我们做的国产化刻蚀设备有着成本上的优势。”中锃半导体亦表示希望在设备国产化上作出更多贡献。
“未来，我们有很大的抱负”
“今年，我们会将华智科技过去的经验和技术转移到中锃，一年后，中锃将以独立的团队运作。”谭志明对中锃半导体在大湾区未来的发展有着明确的规划，“在产品开发上，我们希望加速研发ICP（感应耦合等离子Inductively Coupled Plasma ，简称‘ICP’）设备，同时，将原来仅在研究院或大学投入使用的RIE（反应离子蚀刻Reactive Ion Etching，简称‘RIE’）设备升级至工业级、全自动化。而明年，我们将推出这两款机型设备，考虑到ICP设备本身的市场需求很大，我们将在第一年量产ICP RIE设备共十余台。到2027年，我们一年的量产将超过一百台。”
未来，中锃半导体将推进技术升级，进一步开发华东等地区市场。同时，把握国内国际双市场机遇，通过在东南亚国家（如：新加坡）建立营销渠道，不断拓展国际市场。
谈到为何选择入驻香港科学园和香港科学园深圳分园，谭志明坦言，“这里创新氛围浓厚，众多科创公司集聚于此，企业之间可以互相交流学习，甚至发掘潜在客户、拓展资源，形成良好的创新生态。在公司发展早期研发资金紧张时，通过香港科技园公司申请到香港特区政府的科研资金支持，期间成功拿到两项专利。最重要的是香港科学园或是深圳分园提供了很好的平台，为企业提供了丰富的人才资源，在这里甚至可以找到我们的潜在客户。”
“我们首先考虑的是香港员工交通的便利性，与香港仅相隔一条深圳河，河套具有得天独厚的地理优势。其次，未来的河套区包括它的建筑群和未来发展蓝图，都是一个很宏大的计划。我们最看好的是，内地政府和香港特区政府在资金、资源和政策上的支持。”河套合作区的未来前景充满机遇和潜力，让谭志明充满期待，“在各方的配合和支持下，我相信河套将成为一个国际科研基地，对于未来，我们有很大的抱负，很大的期望。”